Газочувствительные слои в составе полупроводниковых сенсоров на алюмооксидных подложках

Реутская, О. Г.; Денисюк, С. В.; Куданович, О. Н.; Лугин, Валерий Геннадьевич

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/57667

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Реутская, О. Г.	-
dc.contributor.author	Денисюк, С. В.	-
dc.contributor.author	Куданович, О. Н.	-
dc.contributor.author	Лугин, Валерий Геннадьевич	-
dc.date.accessioned	2023-06-14T12:37:29Z	-
dc.date.available	2023-06-14T12:37:29Z	-
dc.date.issued	2022	-
dc.identifier.citation	Газочувствительные слои в составе полупроводниковых сенсоров на алюмооксидных подложках / О. Г. Реутская [и др.] // Приборостроение-2022 : материалы 15-й международной научно-технической конференции, Минск, 16-18 ноября 2022 г. - Минск : БНТУ, 2022. - С. 441-443. - Библиогр.: 1 назв.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/57667	-
dc.description.abstract	Формирование газочувствительных слоев на алюмооксидных подложках обеспечивает воспроизводимость и стабильность характеристик, а также низкое энергопотребление сенсоров. Методики выбора режимов отжига и способа нанесения тонких пленок влияют на адгезионные свойства элементов конструкции. Получение развитых сплошных полупроводниковых слоев достигается многослойным нанесением оксидов металлов с применением капельных технологических приемов. Диапазон термообработки поверхности чувствительных элементов составляет от 100 °С до 800 °С.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.subject	полупроводниковые сенсоры	ru
dc.subject	газочувствительные слои	ru
dc.subject	алюмооксидные подложки	ru
dc.subject	энергосбережение	ru
dc.subject	оксид олова	ru
dc.subject	оксид индия	ru
dc.title	Газочувствительные слои в составе полупроводниковых сенсоров на алюмооксидных подложках	ru
dc.type	Article	ru
dc.identifier.udc	621.317.39.084.2	-
Appears in Collections:	Статьи в республиканских изданиях

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Реутская_Газочувствительные.pdf		2.1 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record