1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Материалы конференций и семинаров
  3. Научно-технические конференции профессорско-преподавательского состава
  4. 87-я научно-техническая конференция профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, 31 января - 17 февраля 2023 г.
  5. Химическая технология и техника
  6. материалы конференции постатейно
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/58992
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКарпович, Дмитрий Семенович-
dc.contributor.authorАнкуда, Максим Анатольевич-
dc.contributor.authorОлиферович, Надежда Михайловна-
dc.date.accessioned2023-09-14T09:14:27Z-
dc.date.available2023-09-14T09:14:27Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationКарпович, Д. С. Измерение удельного сопротивления поверхностного слоя полупроводникового газоанализатора / Д. С. Карпович, М. А. Анкуда, М. А. Олиферович // Химическая технология и техника : материалы 87-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов, Минск, 31 января - 17 февраля 2023 г. - Минск : БГТУ, 2023. – С. 276-278.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/58992-
dc.description.abstractБольшинство методов измерения удельного сопротивления основывается на определении разницы потенциалов рабочего участка образца, который находится под действием электрического тока. Для полупроводниковых приборов часто применяют зондовые методы, которые не требуют подготовки образца. Одним из наиболее эффективных методов является четырехэлектродный метод измерения удельного сопротивления.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.publisherБГТУru
dc.subjectгазоанализаторыru
dc.subjectполупроводниковые газоанализаторыru
dc.subjectудельное сопротивлениеru
dc.subjectизмерение удельного сопротивленияru
dc.subjectполупроводниковые сенсорыru
dc.subjectчетырехэлектродный метод измеренияru
dc.titleИзмерение удельного сопротивления поверхностного слоя полупроводникового газоанализатораru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc621.317.3-
Appears in Collections:материалы конференции постатейно

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Карпович_Измерение.pdf232.76 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.