Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/61599
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorТульев, Валентин Валентинович-
dc.date.accessioned2023-12-20T10:41:27Z-
dc.date.available2023-12-20T10:41:27Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationТульев, В. В. Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al / В. В. Тульев // Технологическая независимость и конкурентоспособность Союзного государства, стран СНГ, ЕАЭС и ШОС : сборник статей VI Международной научно-технической конференции "Минские научные чтения - 2023", Минск, 6-8 декабря 2023 г. : в 3 т. - Минск : БГТУ, 2023. - Т. 2. - С. 398-403.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/61599-
dc.description.abstractВ работе представлены экспериментальные результаты по изучению распределения элементов в Cr/Si- и Сr/Al-структурах, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Распределение элементов по глубине в сформированных покрытиях изучались методами резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и резонансных ядерных реакций.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.publisherБГТУru
dc.subjectпокрытия на основе хромаru
dc.subjectметод ионно-ассистируемого осаждения в вакуумеru
dc.subjectосаждение покрытийru
dc.subjectметод резерфордовского обратного рассеянияru
dc.subjectметод резонансных ядерных реакцийru
dc.subjectраспределение элементов в Cr/Si-структурахru
dc.subjectраспределение элементов в Сr/Al-структурахru
dc.titleИзучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Alru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc539.1.06:539.23.234-
Appears in Collections:материалы конференции постатейно

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Тульев_Изучение.pdf536.08 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.