Роль адсорбированного кислорода на электрофизические свойства тонких пленок наноструктурированного оксида индия

Долгий, В. К.; Волобуев, Влас Сергеевич; Почтенный, Артем Евгеньевич

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/64103

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Долгий, В. К.	-
dc.contributor.author	Волобуев, Влас Сергеевич	-
dc.contributor.author	Почтенный, Артем Евгеньевич	-
dc.date.accessioned	2024-04-03T09:49:06Z	-
dc.date.available	2024-04-03T09:49:06Z	-
dc.date.issued	2023	-
dc.identifier.citation	Долгий, В. К. Роль адсорбированного кислорода на электрофизические свойства тонких пленок наноструктурированного оксида индия / В. К. Долгий, В. С. Волобуев, А. Е. Почтенный // Актуальные проблемы физики твердого тела: сборник докладов X Междунар. науч. конф., Минск, 22–26 мая 2023 / НПЦ НАН Беларуси по материаловедению. – Минск : А. Н. Вараксин, 2023. – С. 654-657	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/64103	-
dc.description.abstract	Исследованы электрофизические свойства тонких пленок наноструктурированного оксида индия. Структура и химический состав пленок изучались методами электронной дифракции, сканирующей электронной микроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Температурная зависимость проводимости пленок оксида индия измерялась при постоянной концентрации кислорода методом циклической термодесорбции. На основе результатов исследования предложен механизм проводимости. Результаты могут быть использованы в микроэлектронных датчиках	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.subject	сенсоры	ru
dc.subject	механизм проводимости	ru
dc.subject	термодесорбция	ru
dc.subject	тонкая пленка	ru
dc.subject	адсорбированный кислород	ru
dc.subject	наноструктурированный оксид индия	ru
dc.title	Роль адсорбированного кислорода на электрофизические свойства тонких пленок наноструктурированного оксида индия	ru
dc.type	Article	ru
Appears in Collections:	Статьи в республиканских изданиях

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Долгий.pdf		1.01 MB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record