Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий

Тульев, Валентин Валентинович; Ташлыков, Игорь Серафимович; Барайшук, Сергей Михайлович; Уляшко, П. В.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/64652

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Тульев, Валентин Валентинович	-
dc.contributor.author	Ташлыков, Игорь Серафимович	-
dc.contributor.author	Барайшук, Сергей Михайлович	-
dc.contributor.author	Уляшко, П. В.	-
dc.date.accessioned	2024-04-15T10:07:26Z	-
dc.date.available	2024-04-15T10:07:26Z	-
dc.date.issued	2006	-
dc.identifier.citation	Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий / В. В. Тульев [и др.] // Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия VI. Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2006. - Вып. XIV. - С. 85-87. - Библиогр.: 11 назв.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/64652	-
dc.description.abstract	Статья посвящена изучению нанотвердости, модуля Юнга и топографии покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-ассистированного осаждения в вакууме. Установлено, что покрытия на основе углерода, молибдена, титана имеют нанотвердость, сравнимую с нанотвердостью поверхности исходного кремния. Шероховатость поверхности исходного и модифицированного кремния незначительна и изменяется от 0,17 нм (исходный Si) до 1,1 нм на поверхности с титановым покрытием.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	кремниевые пластины	ru
dc.subject	топография поверхности кремния	ru
dc.subject	модуль Юнга	ru
dc.subject	метод ионно-ассистированного осаждения	ru
dc.subject	титановые покрытия	ru
dc.subject	физика	ru
dc.title	Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий	ru
dc.type	Article	ru
dc.identifier.udc	539.1.06:539.23.234	-
Appears in Collections:	Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2006

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Тульев В. В. Механические свойства.pdf		383.77 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record