Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/64652Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Тульев, Валентин Валентинович | - |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Уляшко, П. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2024-04-15T10:07:26Z | - |
| dc.date.available | 2024-04-15T10:07:26Z | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.citation | Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий / В. В. Тульев [и др.] // Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия VI. Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2006. - Вып. XIV. - С. 85-87. - Библиогр.: 11 назв. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/64652 | - |
| dc.description.abstract | Статья посвящена изучению нанотвердости, модуля Юнга и топографии покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-ассистированного осаждения в вакууме. Установлено, что покрытия на основе углерода, молибдена, титана имеют нанотвердость, сравнимую с нанотвердостью поверхности исходного кремния. Шероховатость поверхности исходного и модифицированного кремния незначительна и изменяется от 0,17 нм (исходный Si) до 1,1 нм на поверхности с титановым покрытием. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГТУ | ru |
| dc.subject | кремниевые пластины | ru |
| dc.subject | топография поверхности кремния | ru |
| dc.subject | модуль Юнга | ru |
| dc.subject | метод ионно-ассистированного осаждения | ru |
| dc.subject | титановые покрытия | ru |
| dc.subject | физика | ru |
| dc.title | Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udc | 539.1.06:539.23.234 | - |
| Располагается в коллекциях: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2006 | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев В. В. Механические свойства.pdf | 383.77 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.