Лазерное напыление тонких пленок фталоцианина меди

Abstract

Таким образом, созданная установка и разработанная методика лазерного напыления позволяют получать тонкие пленки фталоцианина меди, структура и электрофизические свойства которых аналогичны, сенсорные свойства не уступают, а воспроизводимость свойств существенно превышает соответствующие характеристики пленок фталоцианина меди, получаемых другими способами.