Основные принципы формирования многослойных покрытий методами вакуумно-дугового осаждения

Abstract

В работе предложена концепция чередования слоев со столбчатой структурой (TiN) и слоев с наноразмерной структурой (TiAlCrNi)N в составе многослойного покрытия, что должно привести к повышению физико-механических свойств формируемого покрытия за счет увеличения протяженности межфазных границ, как между слоями, так и в слое с наноразмерной структурой.