Композиционный состав приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением атомов титана и кобальта на кремнии с ксеноновым маркером

Abstract

На первом этапе в приповерхностные слои подготовленных образцов из кремния были внедрены атомы ксенона методом ионной имплантации. Ксеноновый маркер применялся для установления границы раздела покрытие/подложка. На втором этапе на образцы кремния с ксеноновым маркером наносились покрытия на основе Ti и Co методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Послойный элементный анализ проводился методом резерфордовского обратного рассеяния (РОР) ионов гелия в сочетание с компьютерным моделированием RUMP. Определения содержания водорода в полученных структурах было проведено с помощью метода ядерных реакций (ЯР).