Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/27880
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Бобрович, Олег Георгиевич | - |
dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
dc.date.accessioned | 2019-02-01T10:43:05Z | - |
dc.date.available | 2019-02-01T10:43:05Z | - |
dc.date.issued | 2000 | - |
dc.identifier.citation | Бобрович, О. Г. Анализ структурных нарушений в кремнии, модифицированном ионно-ассистируемым нанесением металлических покрытий в условиях саморадиации / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков // Физика и химия обработки материалов. - 2000. - №5. - С. 46-49 | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/27880 | - |
dc.description.abstract | Методом резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием (РОРК) исследована энергетическая зависимость развития повреждений в кремнии при комнатной температуре при ионно-ассистируемом нанесении Со, Мо и W в условиях саморадиации. Установлена зависимость повреждения структуры кремния от энергии облучающих ионов Со{+}, Мо{+} и W{+}. Концентрация смещенных атомов растет с энергией ионов, однако уровень деканалирования в области за пиком повреждений на спектрах РОРК уменьшается с увеличением энергии ионов в системах Co/Si и Mo/Si и увеличивается в системе W/Si. | ru |
dc.subject | кремний | ru |
dc.subject | модифицирование кремния | ru |
dc.subject | ионно-ассистируемое нанесение | ru |
dc.subject | саморадиация | ru |
dc.subject | повреждения структуры кремния | ru |
dc.subject | ионная имплантация | ru |
dc.subject | нанесение покрытий | ru |
dc.subject | осаждение покрытий | ru |
dc.title | Анализ структурных нарушений в кремнии, модифицированном ионно-ассистируемым нанесением металлических покрытий в условиях саморадиации | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.identifier.udc | 539.211:539.1.06 | - |
Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Bobrovich_Analiz strukturnyh.pdf | 475.17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.