Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/27880
Title: | Анализ структурных нарушений в кремнии, модифицированном ионно-ассистируемым нанесением металлических покрытий в условиях саморадиации |
Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович |
Keywords: | кремний модифицирование кремния ионно-ассистируемое нанесение саморадиация повреждения структуры кремния ионная имплантация нанесение покрытий осаждение покрытий |
Issue Date: | 2000 |
Citation: | Бобрович, О. Г. Анализ структурных нарушений в кремнии, модифицированном ионно-ассистируемым нанесением металлических покрытий в условиях саморадиации / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков // Физика и химия обработки материалов. - 2000. - №5. - С. 46-49 |
Abstract: | Методом резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием (РОРК) исследована энергетическая зависимость развития повреждений в кремнии при комнатной температуре при ионно-ассистируемом нанесении Со, Мо и W в условиях саморадиации. Установлена зависимость повреждения структуры кремния от энергии облучающих ионов Со{+}, Мо{+} и W{+}. Концентрация смещенных атомов растет с энергией ионов, однако уровень деканалирования в области за пиком повреждений на спектрах РОРК уменьшается с увеличением энергии ионов в системах Co/Si и Mo/Si и увеличивается в системе W/Si. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/27880 |
Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Bobrovich_Analiz strukturnyh.pdf | 475.17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.