Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44905| Title: | Закономерности формирования тонких пленок In2О3 методом термического окисления индия |
| Authors: | Лугин, Валерий Геннадьевич Жарский, Иван Михайлович |
| Keywords: | индий термическое окисление полупроводниковые материалы тонкие пленки индия магнетронное напыление кремний монокристаллический электронная микроскопия |
| Issue Date: | 2001 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Лугин, В. Г. Закономерности формирования тонких пленок In2О3 методом термического окисления индия / В. Г. Лугин, И. М. Жарский // Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001. - С. 53-60. |
| Abstract: | Целью настоящей работы являлось исследование закономерностей изменения структурных и электрофизических параметров, происходящих в процессе неизотермического окисления тонких пленок индия. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44905 |
| Appears in Collections: | Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Лугин. Жарский_Закономерности.pdf | 1.3 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.