Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44907| Title: | Окисление тонких пленок вольфрама, меди, олова на воздухе |
| Authors: | Шишкин, Николай Яковлевич Башкиров, Леонид Андреевич Жарский, Иван Михайлович Черкасов, Вадим Анатольевич Косов, Д. В. Чеботарь, Оесана Адамовна |
| Keywords: | кислород окислители окисление металлов пленки вольфрама пленки меди пленки олова тонкие пленки магнетронное распыление кинетика окисления |
| Issue Date: | 2001 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Окисление тонких пленок вольфрама, меди, олова на воздухе / Н. Я. Шишкин [и др.] // Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001. - С. 93-98 |
| Abstract: | Дан краткий обзор по окислению пленок. Сделан вывод кинетического уравнения для процесса окисления тонких и очень тонких пленок. Для пленок вольфрама, меди и олова полученных методом магнетронного распыления, предложена методика и режимы окисления. По выведенным уравнениям и экспериментальным данным получены кинетические параметры процесса окисления. Представлены экспериментально полученные закономерности кинетики окисления металлов кислородом при разных температурах. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44907 |
| Appears in Collections: | Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Шишкин_окисление.pdf | 335.88 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.