Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44907| Название: | Окисление тонких пленок вольфрама, меди, олова на воздухе |
| Авторы: | Шишкин, Николай Яковлевич Башкиров, Леонид Андреевич Жарский, Иван Михайлович Черкасов, Вадим Анатольевич Косов, Д. В. Чеботарь, Оесана Адамовна |
| Ключевые слова: | кислород окислители окисление металлов пленки вольфрама пленки меди пленки олова тонкие пленки магнетронное распыление кинетика окисления |
| Дата публикации: | 2001 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Окисление тонких пленок вольфрама, меди, олова на воздухе / Н. Я. Шишкин [и др.] // Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001. - С. 93-98 |
| Краткий осмотр (реферат): | Дан краткий обзор по окислению пленок. Сделан вывод кинетического уравнения для процесса окисления тонких и очень тонких пленок. Для пленок вольфрама, меди и олова полученных методом магнетронного распыления, предложена методика и режимы окисления. По выведенным уравнениям и экспериментальным данным получены кинетические параметры процесса окисления. Представлены экспериментально полученные закономерности кинетики окисления металлов кислородом при разных температурах. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44907 |
| Располагается в коллекциях: | Жарский Иван Михайлович Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Шишкин_окисление.pdf | 335.88 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.