Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44907
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorШишкин, Николай Яковлевич-
dc.contributor.authorБашкиров, Леонид Андреевич-
dc.contributor.authorЖарский, Иван Михайлович-
dc.contributor.authorЧеркасов, Вадим Анатольевич-
dc.contributor.authorКосов, Д. В.-
dc.contributor.authorЧеботарь, Оесана Адамовна-
dc.date.accessioned2022-01-12T05:34:42Z-
dc.date.available2022-01-12T05:34:42Z-
dc.date.issued2001-
dc.identifier.citationОкисление тонких пленок вольфрама, меди, олова на воздухе / Н. Я. Шишкин [и др.] // Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001. - С. 93-98ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/44907-
dc.description.abstractДан краткий обзор по окислению пленок. Сделан вывод кинетического уравнения для процесса окисления тонких и очень тонких пленок. Для пленок вольфрама, меди и олова полученных методом магнетронного распыления, предложена методика и режимы окисления. По выведенным уравнениям и экспериментальным данным получены кинетические параметры процесса окисления. Представлены экспериментально полученные закономерности кинетики окисления металлов кислородом при разных температурах.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdfru
dc.language.isoruru
dc.publisherБГТУru
dc.subjectкислородru
dc.subjectокислителиru
dc.subjectокисление металловru
dc.subjectпленки вольфрамаru
dc.subjectпленки медиru
dc.subjectпленки оловаru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectкинетика окисленияru
dc.titleОкисление тонких пленок вольфрама, меди, олова на воздухеru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udc546.814+539.23-
Appears in Collections:Жарский Иван Михайлович
Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Шишкин_окисление.pdf335.88 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.