Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44907
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Шишкин, Николай Яковлевич | - |
dc.contributor.author | Башкиров, Леонид Андреевич | - |
dc.contributor.author | Жарский, Иван Михайлович | - |
dc.contributor.author | Черкасов, Вадим Анатольевич | - |
dc.contributor.author | Косов, Д. В. | - |
dc.contributor.author | Чеботарь, Оесана Адамовна | - |
dc.date.accessioned | 2022-01-12T05:34:42Z | - |
dc.date.available | 2022-01-12T05:34:42Z | - |
dc.date.issued | 2001 | - |
dc.identifier.citation | Окисление тонких пленок вольфрама, меди, олова на воздухе / Н. Я. Шишкин [и др.] // Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001. - С. 93-98 | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44907 | - |
dc.description.abstract | Дан краткий обзор по окислению пленок. Сделан вывод кинетического уравнения для процесса окисления тонких и очень тонких пленок. Для пленок вольфрама, меди и олова полученных методом магнетронного распыления, предложена методика и режимы окисления. По выведенным уравнениям и экспериментальным данным получены кинетические параметры процесса окисления. Представлены экспериментально полученные закономерности кинетики окисления металлов кислородом при разных температурах. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | БГТУ | ru |
dc.subject | кислород | ru |
dc.subject | окислители | ru |
dc.subject | окисление металлов | ru |
dc.subject | пленки вольфрама | ru |
dc.subject | пленки меди | ru |
dc.subject | пленки олова | ru |
dc.subject | тонкие пленки | ru |
dc.subject | магнетронное распыление | ru |
dc.subject | кинетика окисления | ru |
dc.title | Окисление тонких пленок вольфрама, меди, олова на воздухе | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.identifier.udc | 546.814+539.23 | - |
Appears in Collections: | Жарский Иван Михайлович Труды БГТУ. №3. Химия и технология неорганических веществ, 2001 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Шишкин_окисление.pdf | 335.88 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.