Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/64701| Title: | Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении металлосодержащего покрытия в условиях самооблучения |
| Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович Михалкович, О. М. |
| Keywords: | металлосодержащие покрытия условия самооблучения резерфордовский метод ионы титана повреждение структуры кремния физика |
| Issue Date: | 2006 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Бобрович, О. Г. Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении металлосодержащего покрытия в условиях самооблучения / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, О. М. Михалкович // Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия VI. Физико-математические науки и информатика. - 2006. - Вып. XIV. - С. 82-84. - Библиогр.: 7 назв. |
| Abstract: | В статье обсуждаются экспериментальные результаты по дефектообразованию, миграции дефектов в кремнии с имплантированным маркером ксенона при ионно-ассистированном осаждении металлсодержащего покрытия в условиях самооблучения. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/64701 |
| Appears in Collections: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2006 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Бобрович О. Г. Повреждение структуры.pdf | 295.1 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.