Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/64701| Название: | Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении металлосодержащего покрытия в условиях самооблучения |
| Авторы: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович Михалкович, О. М. |
| Ключевые слова: | металлосодержащие покрытия условия самооблучения резерфордовский метод ионы титана повреждение структуры кремния физика |
| Дата публикации: | 2006 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Бобрович, О. Г. Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении металлосодержащего покрытия в условиях самооблучения / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, О. М. Михалкович // Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия VI. Физико-математические науки и информатика. - 2006. - Вып. XIV. - С. 82-84. - Библиогр.: 7 назв. |
| Краткий осмотр (реферат): | В статье обсуждаются экспериментальные результаты по дефектообразованию, миграции дефектов в кремнии с имплантированным маркером ксенона при ионно-ассистированном осаждении металлсодержащего покрытия в условиях самооблучения. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/64701 |
| Располагается в коллекциях: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2006 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Бобрович О. Г. Повреждение структуры.pdf | 295.1 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.