Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении металлосодержащего покрытия в условиях самооблучения

Бобрович, Олег Георгиевич; Ташлыков, Игорь Серафимович; Михалкович, О. М.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/64701

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Бобрович, Олег Георгиевич	-
dc.contributor.author	Ташлыков, Игорь Серафимович	-
dc.contributor.author	Михалкович, О. М.	-
dc.date.accessioned	2024-04-16T08:17:50Z	-
dc.date.available	2024-04-16T08:17:50Z	-
dc.date.issued	2006	-
dc.identifier.citation	Бобрович, О. Г. Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении металлосодержащего покрытия в условиях самооблучения / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, О. М. Михалкович // Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия VI. Физико-математические науки и информатика. - 2006. - Вып. XIV. - С. 82-84. - Библиогр.: 7 назв.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/64701	-
dc.description.abstract	В статье обсуждаются экспериментальные результаты по дефектообразованию, миграции дефектов в кремнии с имплантированным маркером ксенона при ионно-ассистированном осаждении металлсодержащего покрытия в условиях самооблучения.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	металлосодержащие покрытия	ru
dc.subject	условия самооблучения	ru
dc.subject	резерфордовский метод	ru
dc.subject	ионы титана	ru
dc.subject	повреждение структуры кремния	ru
dc.subject	физика	ru
dc.title	Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении металлосодержащего покрытия в условиях самооблучения	ru
dc.type	Article	ru
dc.identifier.udc	539.211:539.23	-
Appears in Collections:	Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2006

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Бобрович О. Г. Повреждение структуры.pdf		295.1 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record