Browsing by Subject ионно-ассистируемое нанесение
Showing results 2 to 2 of 2
< previous
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2014 | Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si-структур | Бобрович, Олег Георгиевич; Ташлыков, Игорь Серафимович; Тульев, Валентин Валентинович |