Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/12186| Title: | Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si-структур |
| Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович Тульев, Валентин Валентинович |
| Keywords: | ионно-ассистируемое нанесение ионно-ассистируемое осаждение металлические покрытия резерфордовское обратное рассеяние |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Бобрович, О. Г. Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si-структур / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, В. В. Тульев // Труды БГТУ. - Минск : БГТУ, 2014. - № 6 (170). - С. 74-76. |
| Abstract: | Методом РОР изучен элементный состав металлических (Co, Mo, W) покрытий, осажденных на (100)Si в условиях ионного (Co+, Mo+, W+ ) ассистирования. Толщина покрытия увеличивается с уменьшением ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Со+, Мо+, W+ от 20 до 7 кВ и зависит как от отношения плотности потока ионов Ji к плотности потока нанесенных атомов JА (Ji / JА), так и типа осаждаемого на Si металла. Установлено, что оптимальное отношение Ji / JА, при котором достигается наибольшая толщина Со и Мо-покрытий составляет 0,06, а для W-покрытия – 0,04. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/12186 |
| Appears in Collections: | 2014, № 6 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.