Browsing by Subject метод ионно-ассистируемого осаждения в вакууме
Showing results 1 to 1 of 1
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2023 | Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al | Тульев, Валентин Валентинович |