Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/61599| Title: | Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al |
| Authors: | Тульев, Валентин Валентинович |
| Keywords: | покрытия на основе хрома метод ионно-ассистируемого осаждения в вакууме осаждение покрытий метод резерфордовского обратного рассеяния метод резонансных ядерных реакций распределение элементов в Cr/Si-структурах распределение элементов в Сr/Al-структурах |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Тульев, В. В. Изучение элементного состава приповерхностных слоев структур, полученных ионно-ассистируемым осаждением хрома на образцы из Si и Al / В. В. Тульев // Технологическая независимость и конкурентоспособность Союзного государства, стран СНГ, ЕАЭС и ШОС : сборник статей VI Международной научно-технической конференции "Минские научные чтения - 2023", Минск, 6-8 декабря 2023 г. : в 3 т. - Минск : БГТУ, 2023. - Т. 2. - С. 398-403. |
| Abstract: | В работе представлены экспериментальные результаты по изучению распределения элементов в Cr/Si- и Сr/Al-структурах, сформированных методом ионно-ассистируемого осаждения в вакууме. Распределение элементов по глубине в сформированных покрытиях изучались методами резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и резонансных ядерных реакций. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/61599 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев_Изучение.pdf | 536.08 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.