Browsing by Author Телеш, Е. В.
Showing results 2 to 2 of 2
< previous
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2020 | Формирование тонких пленок SiOC прямым осаждением из пучков ионов химически активных газов | Данилевич, Д. С.; Телеш, Е. В. |