Browsing by Subject травление кремниевых пластин
Showing results 1 to 1 of 1
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2021 | Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния | Локун, Р. А.; Мурашкевич, Анна Николаевна |