Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888| Title: | Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния |
| Authors: | Локун, Р. А. Мурашкевич, Анна Николаевна |
| Keywords: | монокристаллический кремний пластины монокристаллического кремния травление кремния травление кремниевых пластин кислотные травители |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Локун, Р. А. Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния / Р. А. Локун, А. Н. Мурашкевич // Инновационные материалы и технологии - 2021 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 19-21 января 2021 г. - Минск : БГТУ, 2021. – С. 594-597. |
| Abstract: | Целью исследования, проведённого на территории предприятия СП «КамСил», является травление кремниевых пластин в смеси кислот, состоящей из HF (45%), HNO3 (65%), CH3COOH, имеющей различное соотношение компонентов. Определить зависимость съёма и визуальное качество поверхности в зависимости от применяемых травителей. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Локун_Усовершенствование.pdf | 185.06 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.