Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния

Локун, Р. А.; Мурашкевич, Анна Николаевна

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Локун, Р. А.	-
dc.contributor.author	Мурашкевич, Анна Николаевна	-
dc.date.accessioned	2022-01-11T09:29:13Z	-
dc.date.available	2022-01-11T09:29:13Z	-
dc.date.issued	2021	-
dc.identifier.citation	Локун, Р. А. Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния / Р. А. Локун, А. Н. Мурашкевич // Инновационные материалы и технологии - 2021 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 19-21 января 2021 г. - Минск : БГТУ, 2021. – С. 594-597.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888	-
dc.description.abstract	Целью исследования, проведённого на территории предприятия СП «КамСил», является травление кремниевых пластин в смеси кислот, состоящей из HF (45%), HNO3 (65%), CH3COOH, имеющей различное соотношение компонентов. Определить зависимость съёма и визуальное качество поверхности в зависимости от применяемых травителей.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	монокристаллический кремний	ru
dc.subject	пластины монокристаллического кремния	ru
dc.subject	травление кремния	ru
dc.subject	травление кремниевых пластин	ru
dc.subject	кислотные травители	ru
dc.title	Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния	ru
dc.type	Article	ru
dc.identifier.udc	546.28.004	-
dc.identifier.udc	66.10.915.921	-
Appears in Collections:	материалы конференции постатейно

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Локун_Усовершенствование.pdf		185.06 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record