Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888| Название: | Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния |
| Авторы: | Локун, Р. А. Мурашкевич, Анна Николаевна |
| Ключевые слова: | монокристаллический кремний пластины монокристаллического кремния травление кремния травление кремниевых пластин кислотные травители |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Локун, Р. А. Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния / Р. А. Локун, А. Н. Мурашкевич // Инновационные материалы и технологии - 2021 : материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых, Минск, 19-21 января 2021 г. - Минск : БГТУ, 2021. – С. 594-597. |
| Краткий осмотр (реферат): | Целью исследования, проведённого на территории предприятия СП «КамСил», является травление кремниевых пластин в смеси кислот, состоящей из HF (45%), HNO3 (65%), CH3COOH, имеющей различное соотношение компонентов. Определить зависимость съёма и визуальное качество поверхности в зависимости от применяемых травителей. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888 |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Локун_Усовершенствование.pdf | 185.06 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.