Browsing by Subject ионно-ассистированные нанесения покрытий
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2020 | Композиционный состав и дефектообразование в кремнии с имплантированным маркером Хе при нанесении титана в условиях ионного ассистирования | Бобрович, Олег Георгиевич |