Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/36296
Title: | Композиционный состав и дефектообразование в кремнии с имплантированным маркером Хе при нанесении титана в условиях ионного ассистирования |
Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич |
Keywords: | кремний дефектообразование имплантированные маркеры Хе Хе-маркеры ионно-ассистированные нанесения покрытий микроэлектроника резерфордовское обратное рассеяние каналирование компьютерное моделирование |
Issue Date: | 2020 |
Publisher: | БГТУ |
Citation: | Бобрович, О. Г. Композиционный состав и дефектообразование в кремнии с имплантированным маркером Хе при нанесении титана в условиях ионного ассистирования / О. Г. Бобрович // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2020. - № 2 (236). - С. 56-60. - Библиогр.: 8 назв. - ил. |
Abstract: | При изучении взаимопроникновения элементов подложки и тонкой пленки, получаемой методами ионно-ассистируемого нанесения покрытий, необходимо устанавливать границу раздела фаз в структуре пленка − подложка. С этой целью выполнены эксперименты с маркерными слоями ксенона, который имплантировался в кремниевые образцы с энергией 10 и 40 кэВ и дозами от 1 ⋅ 10{14} до 27 ⋅ 10{14} см{−2}. Образцы кремния с имплантированным маркером ксенона модифицировали осаждением титана в условиях ионного Ti{+} ассистирования при ускоряющем напряжении 7 кВ. Подготовленные и модифицированные таким образом образцы исследовались методом резерфордовского обратного рассеяния в сочетании с каналированием (РОР/К) ионов гелия с энергией 2 МэВ, а также применялось компьютерное моделирование с помощью программы RUMP. Анализ спектров РОР и компьютерное моделирование позволили обнаружить встречные потоки элементов матрицы в покрытии. Наряду с сопутствующими примесями водорода, углерода и кислорода в состав пленки на основе металла входит 10−15 ат. % кремния. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/36296 |
Appears in Collections: | выпуск журнала постатейно |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
9. Бобрович.pdf | 670.76 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.