Просмотр собрания по группе - Тема кремниевые пластины
Результаты 3 по 4 из 4
< назад
Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
2006 | Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий | Тульев, Валентин Валентинович; Ташлыков, Игорь Серафимович; Барайшук, Сергей Михайлович; Уляшко, П. В. |
2021 | Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr | Барайшук, С. М.; Вертель, М.; Будзинский, М.; Бобрович, Олег Георгиевич; Михалкович, О. М. |