Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/64652| Title: | Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий |
| Authors: | Тульев, Валентин Валентинович Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович Уляшко, П. В. |
| Keywords: | кремниевые пластины топография поверхности кремния модуль Юнга метод ионно-ассистированного осаждения титановые покрытия физика |
| Issue Date: | 2006 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий / В. В. Тульев [и др.] // Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия VI. Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2006. - Вып. XIV. - С. 85-87. - Библиогр.: 11 назв. |
| Abstract: | Статья посвящена изучению нанотвердости, модуля Юнга и топографии покрытий, нанесенных на кремний методом ионно-ассистированного осаждения в вакууме. Установлено, что покрытия на основе углерода, молибдена, титана имеют нанотвердость, сравнимую с нанотвердостью поверхности исходного кремния. Шероховатость поверхности исходного и модифицированного кремния незначительна и изменяется от 0,17 нм (исходный Si) до 1,1 нм на поверхности с титановым покрытием. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/64652 |
| Appears in Collections: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2006 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Тульев В. В. Механические свойства.pdf | 383.77 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.