Browsing by Subject имплантированные слои кристаллов
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2019 | Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора | Бобрович, Олег Георгиевич |