Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28447| Title: | Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора |
| Authors: | Бобрович, Олег Георгиевич |
| Keywords: | кристаллы дефектообразование имплантация ионов фосфора имплантированные слои кристаллов термический отжиг арсенид галлия резерфордовское обратное рассеяние ионов гелия |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Бобрович, О. Г. Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора / О. Г. Бобрович // Физико-математические науки : материалы докладов 83-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 4-15 февраля 2019 г. / Белорусский государственный технологический университет ; отв. за вып. И. В. Войтов. - Минск : БГТУ, 2019. – С. 13 |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28447 |
| Appears in Collections: | Физико-математические науки |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Bobrovich_vlijanie.pdf | 16.56 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.