Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28447| Название: | Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора |
| Авторы: | Бобрович, Олег Георгиевич |
| Ключевые слова: | кристаллы дефектообразование имплантация ионов фосфора имплантированные слои кристаллов термический отжиг арсенид галлия резерфордовское обратное рассеяние ионов гелия |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Бобрович, О. Г. Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора / О. Г. Бобрович // Физико-математические науки : материалы докладов 83-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 4-15 февраля 2019 г. / Белорусский государственный технологический университет ; отв. за вып. И. В. Войтов. - Минск : БГТУ, 2019. – С. 13 |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28447 |
| Располагается в коллекциях: | Физико-математические науки |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Bobrovich_vlijanie.pdf | 16.56 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.