1. Электронная библиотека БГТУ
  2. Материалы конференций и семинаров
  3. Научно-технические конференции профессорско-преподавательского состава
  4. 83-я научно-техническая конференция профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 4-15 февраля 2019 г.
  5. Физико-математические науки
Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/28447
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБобрович, Олег Георгиевичru
dc.date.accessioned2019-03-19T06:21:53Z-
dc.date.available2019-03-19T06:21:53Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationБобрович, О. Г. Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора / О. Г. Бобрович // Физико-математические науки : материалы докладов 83-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 4-15 февраля 2019 г. / Белорусский государственный технологический университет ; отв. за вып. И. В. Войтов. - Минск : БГТУ, 2019. – С. 13ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/28447-
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoruen
dc.publisherБГТУru
dc.subjectкристаллыru
dc.subjectдефектообразованиеru
dc.subjectимплантация ионов фосфораru
dc.subjectимплантированные слои кристалловru
dc.subjectтермический отжигru
dc.subjectарсенид галлияru
dc.subjectрезерфордовское обратное рассеяние ионов гелияru
dc.titleВлияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфораru
dc.typeArticleen
dc.identifier.udc539.211:539.188-
Appears in Collections:Физико-математические науки

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Bobrovich_vlijanie.pdf16.56 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.