Browsing by Subject магнетронный метод осаждения
Showing results 1 to 1 of 1
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2021 | Метод магнетронного распыления для чувствительных элементов газоанализаторов | Олиферович, Надежда Михайловна; Анкуда, Максим Анатольевич; Карпович, Дмитрий Семенович |