Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44431| Title: | Метод магнетронного распыления для чувствительных элементов газоанализаторов |
| Authors: | Олиферович, Надежда Михайловна Анкуда, Максим Анатольевич Карпович, Дмитрий Семенович |
| Keywords: | магнетронное распыление газоанализаторы магнетронный метод осаждения полупроводниковый газоанализатор установка магнетронного распыления |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГТУ |
| Citation: | Олиферович, Н. М. Метод магнетронного распыления для чувствительных элементов газоанализаторов / Н. М. Олиферович, М. А. Анкуда, Д. С. Карпович // Передовые технологии и материалы будущего : сборник статей IV Международной научно-технической конференции «Минские научные чтения-2021», Минск, 9 декабря 2021 г. – Минск : БГТУ, 2021. – Т. 1. – С. 234-238. |
| Abstract: | Целью работы является установление технологических особенностей функционирования осажденных магнетронным методом пленок для применения их в газоанализаторах. Актуальность проблемы обусловлена повышением в общей доле измерения технологических параметров величин, связанных с определением качественного состава газовых смесей. |
| URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44431 |
| Appears in Collections: | материалы конференции постатейно |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Олиферович. Метод.pdf | 353.25 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.