Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/44431| Название: | Метод магнетронного распыления для чувствительных элементов газоанализаторов |
| Авторы: | Олиферович, Надежда Михайловна Анкуда, Максим Анатольевич Карпович, Дмитрий Семенович |
| Ключевые слова: | магнетронное распыление газоанализаторы магнетронный метод осаждения полупроводниковый газоанализатор установка магнетронного распыления |
| Дата публикации: | 2021 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Олиферович, Н. М. Метод магнетронного распыления для чувствительных элементов газоанализаторов / Н. М. Олиферович, М. А. Анкуда, Д. С. Карпович // Передовые технологии и материалы будущего : сборник статей IV Международной научно-технической конференции «Минские научные чтения-2021», Минск, 9 декабря 2021 г. – Минск : БГТУ, 2021. – Т. 1. – С. 234-238. |
| Краткий осмотр (реферат): | Целью работы является установление технологических особенностей функционирования осажденных магнетронным методом пленок для применения их в газоанализаторах. Актуальность проблемы обусловлена повышением в общей доле измерения технологических параметров величин, связанных с определением качественного состава газовых смесей. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/44431 |
| Располагается в коллекциях: | материалы конференции постатейно |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Олиферович. Метод.pdf | 353.25 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.