Метод магнетронного распыления для чувствительных элементов газоанализаторов

Олиферович, Надежда Михайловна; Анкуда, Максим Анатольевич; Карпович, Дмитрий Семенович

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44431

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Олиферович, Надежда Михайловна	-
dc.contributor.author	Анкуда, Максим Анатольевич	-
dc.contributor.author	Карпович, Дмитрий Семенович	-
dc.date.accessioned	2021-12-20T08:08:12Z	-
dc.date.available	2021-12-20T08:08:12Z	-
dc.date.issued	2021	-
dc.identifier.citation	Олиферович, Н. М. Метод магнетронного распыления для чувствительных элементов газоанализаторов / Н. М. Олиферович, М. А. Анкуда, Д. С. Карпович // Передовые технологии и материалы будущего : сборник статей IV Международной научно-технической конференции «Минские научные чтения-2021», Минск, 9 декабря 2021 г. – Минск : БГТУ, 2021. – Т. 1. – С. 234-238.	ru
dc.identifier.uri	https://elib.belstu.by/handle/123456789/44431	-
dc.description.abstract	Целью работы является установление технологических особенностей функционирования осажденных магнетронным методом пленок для применения их в газоанализаторах. Актуальность проблемы обусловлена повышением в общей доле измерения технологических параметров величин, связанных с определением качественного состава газовых смесей.	ru
dc.format.mimetype	application/pdf	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БГТУ	ru
dc.subject	магнетронное распыление	ru
dc.subject	газоанализаторы	ru
dc.subject	магнетронный метод осаждения	ru
dc.subject	полупроводниковый газоанализатор	ru
dc.subject	установка магнетронного распыления	ru
dc.title	Метод магнетронного распыления для чувствительных элементов газоанализаторов	ru
dc.type	Article	ru
dc.identifier.udc	543.27.8	-
Appears in Collections:	материалы конференции постатейно

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Олиферович. Метод.pdf		353.25 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record