Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/12187
Title: | Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Pd/Fe-структур |
Authors: | Тульев, Валентин Валентинович Ташлыков, Игорь Серафимович Литвинов, Дмитрий Анатольевич |
Keywords: | динамическое атомное перемешивание железо осаждение покрытий резерфордовское обратное рассеяние палладиевые покрытия |
Issue Date: | 2014 |
Publisher: | БГТУ |
Citation: | Тульев, В. В. Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Pd/Fe-структур / В. В. Тульев, И. С. Ташлыков, Д. А. Литвинов // Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2014. - С. 77-79. |
Abstract: | Методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием определено, что при осаждении Pd-покрытия на железо методом динамического атомного перемешивания, в котором в качестве ассистирующих ионов использовались ионы Аr+ с энергией 6 кэВ, и интегральными потоками (0,7?1,6)?1016 ион/cм2 формируется Pd-пленка толщиной ?(14?23) нм. Установлено, что толщина сформированного покрытия зависит от параметра I / A (отношение числа I ассистирующих ионов к числу A атомов осаждаемого покрытия). При расчете толщины пленки необходимо учитывать помимо распыления ассистирующими ионами атомов покрытия также распыление атомов подложки. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/12187 |
Appears in Collections: | Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2014 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.