Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/15449
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБобрович, Олег Георгиевичru
dc.contributor.authorТашлыков, И. С.ru
dc.contributor.authorТульев, Валентин Валентиновичru
dc.date.accessioned2017-03-20T12:48:37Z-
dc.date.available2017-03-20T12:48:37Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationБобрович, О. Г. Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, В. В. Тульев // Физико-математические науки : тезисы докладов 78-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 3-13 февраля 2014 г. / Белорусский государственный технологический университет. - Минск : БГТУ, 2014. - С. 19.ru
dc.identifier.urihttps://elib.belstu.by/handle/123456789/15449-
dc.format.mimetypeapplication/pdfen
dc.language.isoruen
dc.publisherБГТУru
dc.subjectионно-ассистируемое осаждениеru
dc.subjectметаллические покрытияru
dc.subjectпокрытия металлическиеru
dc.titleВлияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структурru
dc.typeArticleen
Appears in Collections:Физико-математические науки

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Bobrovich_19.pdf83.7 kBAdobe PDFView/Open



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.