Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/15449| Название: | Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур |
| Авторы: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, И. С. Тульев, Валентин Валентинович |
| Ключевые слова: | ионно-ассистируемое осаждение металлические покрытия покрытия металлические |
| Дата публикации: | 2014 |
| Издательство: | БГТУ |
| Библиографическое описание: | Бобрович, О. Г. Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, В. В. Тульев // Физико-математические науки : тезисы докладов 78-й научно-технической конференции профессорско-преподавательского состава, научных сотрудников и аспирантов (с международным участием), Минск, 3-13 февраля 2014 г. / Белорусский государственный технологический университет. - Минск : БГТУ, 2014. - С. 19. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/15449 |
| Располагается в коллекциях: | Физико-математические науки |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Bobrovich_19.pdf | 83.7 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.