Взаимопроникновение компонентов подложки и покрытия при осаждении циркониевых и хромовых пленок на эластомер в условиях ионного ассистирования

Abstract

В настоящей работе установлен элементный состав и распределение элементов в покрытии, сформированном ионно-ассистированным нанесением металла (Zr или Cr) на резину в условиях ионного ассистирования Zr{+}, Cr{+}. Анализ выполнен с применением метода резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия. Установлено, что тонкие пленки, осажденные на резину, состоят из Zr (или Cr), H, C, О, S, Са, Zn, F и Na. Цинк, сера, кальций, фтор и натрий появляются в покрытии в результате встречной диффузии элементов из подложки в наносимое покрытие.