Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/23646
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Мадьяров, Владимир Рафкатович | ru |
dc.date.accessioned | 2017-11-17T10:55:45Z | - |
dc.date.available | 2017-11-17T10:55:45Z | - |
dc.date.issued | 2017 | - |
dc.identifier.citation | Мадьяров, В. Р. Бесконтактные измерения электрических параметров полупроводников в СВЧ-диапазоне / В. Р. Мадьяров // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2017. - № 2 (200). - С. 71-75 | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/23646 | - |
dc.description.abstract | Для исследования электронных свойств полупроводников применяются бесконтактные методы на основе зондирования излучением сверхвысоких частот. В данной работе предложена методика определения удельной проводимости и диэлектрической проницаемости кремниевых пластин с помощью интерферометрических измерений фазового сдвига и коэффициента пропускания зондирующего излучения. Измерения фазового сдвига проводились с использованием фазовращателя интерферометра. Удельная проводимость определялась по величине коэффициента пропускания излучения с учетом многократных внутренних отражений от граней кристаллического образца. Коэффициенты отражения и затухания зондирующего излучения измерялись для двух образцов слаболегированного кремния с различной толщиной. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | ru |
dc.publisher | БГТУ | ru |
dc.subject | бесконтактные измерения | ru |
dc.subject | волны миллиметрового диапазона | ru |
dc.subject | удельная проводимость | ru |
dc.subject | диэлектрическая проницаемость | ru |
dc.subject | коэффициент пропускания | ru |
dc.title | Бесконтактные измерения электрических параметров полупроводников в СВЧ-диапазоне | ru |
dc.type | Article | en |
dc.identifier.udc | 537.633.2 | - |
Appears in Collections: | выпуск журнала постатейно |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Mad'jarov_Beskontaktnye.pdf | 281.82 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.