Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/23646
Название: | Бесконтактные измерения электрических параметров полупроводников в СВЧ-диапазоне |
Авторы: | Мадьяров, Владимир Рафкатович |
Ключевые слова: | бесконтактные измерения волны миллиметрового диапазона удельная проводимость диэлектрическая проницаемость коэффициент пропускания |
Дата публикации: | 2017 |
Издательство: | БГТУ |
Библиографическое описание: | Мадьяров, В. Р. Бесконтактные измерения электрических параметров полупроводников в СВЧ-диапазоне / В. Р. Мадьяров // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2017. - № 2 (200). - С. 71-75 |
Краткий осмотр (реферат): | Для исследования электронных свойств полупроводников применяются бесконтактные методы на основе зондирования излучением сверхвысоких частот. В данной работе предложена методика определения удельной проводимости и диэлектрической проницаемости кремниевых пластин с помощью интерферометрических измерений фазового сдвига и коэффициента пропускания зондирующего излучения. Измерения фазового сдвига проводились с использованием фазовращателя интерферометра. Удельная проводимость определялась по величине коэффициента пропускания излучения с учетом многократных внутренних отражений от граней кристаллического образца. Коэффициенты отражения и затухания зондирующего излучения измерялись для двух образцов слаболегированного кремния с различной толщиной. |
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | https://elib.belstu.by/handle/123456789/23646 |
Располагается в коллекциях: | выпуск журнала постатейно |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Mad'jarov_Beskontaktnye.pdf | 281.82 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.