Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.belstu.by/handle/123456789/23646
Title: Бесконтактные измерения электрических параметров полупроводников в СВЧ-диапазоне
Authors: Мадьяров, Владимир Рафкатович
Keywords: бесконтактные измерения
волны миллиметрового диапазона
удельная проводимость
диэлектрическая проницаемость
коэффициент пропускания
Issue Date: 2017
Publisher: БГТУ
Citation: Мадьяров, В. Р. Бесконтактные измерения электрических параметров полупроводников в СВЧ-диапазоне / В. Р. Мадьяров // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2017. - № 2 (200). - С. 71-75
Description: Для исследования электронных свойств полупроводников применяются бесконтактные методы на основе зондирования излучением сверхвысоких частот. В данной работе предложена методика определения удельной проводимости и диэлектрической проницаемости кремниевых пластин с помощью интерферометрических измерений фазового сдвига и коэффициента пропускания зондирующего излучения. Измерения фазового сдвига проводились с использованием фазовращателя интерферометра. Удельная проводимость определялась по величине коэффициента пропускания излучения с учетом многократных внутренних отражений от граней кристаллического образца. Коэффициенты отражения и затухания зондирующего излучения измерялись для двух образцов слаболегированного кремния с различной толщиной.
URI: https://elib.belstu.by/handle/123456789/23646
Appears in Collections:2017, № 2

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Mad'jarov_Beskontaktnye.pdf281.82 kBAdobe PDFView/Open



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.