Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/23646
Title: | Бесконтактные измерения электрических параметров полупроводников в СВЧ-диапазоне |
Authors: | Мадьяров, Владимир Рафкатович |
Keywords: | бесконтактные измерения волны миллиметрового диапазона удельная проводимость диэлектрическая проницаемость коэффициент пропускания |
Issue Date: | 2017 |
Publisher: | БГТУ |
Citation: | Мадьяров, В. Р. Бесконтактные измерения электрических параметров полупроводников в СВЧ-диапазоне / В. Р. Мадьяров // Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика. - Минск : БГТУ, 2017. - № 2 (200). - С. 71-75 |
Abstract: | Для исследования электронных свойств полупроводников применяются бесконтактные методы на основе зондирования излучением сверхвысоких частот. В данной работе предложена методика определения удельной проводимости и диэлектрической проницаемости кремниевых пластин с помощью интерферометрических измерений фазового сдвига и коэффициента пропускания зондирующего излучения. Измерения фазового сдвига проводились с использованием фазовращателя интерферометра. Удельная проводимость определялась по величине коэффициента пропускания излучения с учетом многократных внутренних отражений от граней кристаллического образца. Коэффициенты отражения и затухания зондирующего излучения измерялись для двух образцов слаболегированного кремния с различной толщиной. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/23646 |
Appears in Collections: | выпуск журнала постатейно |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Mad'jarov_Beskontaktnye.pdf | 281.82 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.