Определение композиционного состава и химических связей элементов металлсодержащего (Zr) покрытия, осажденного на эластомер в условиях ионного ассистирования

Abstract

В настоящей работе проведен анализ химических связей, установлен элементный состав и распределение элементов в покрытии, сформированном ионно-ассистированным нанесением металла (Zr) на резину в условиях ассистирования ионами Zr+. Анализ выполнен с применением методов резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Выявлено, что тонкие пленки, осажденные на резину, состоят из Zr, C, O, H, S и Zn. Цинк и сера появляются в покрытии в результате встречной диффузии элементов из подложки в наносимое покрытие. Анализ РФЭ-спектров уровней Zr[3d] и С[1s] позволил установить, что в покрытиях имеются оксид циркония (ZrO[2]), гидроксид циркония (Zr(OH)[4]), графитоподобный углерод, углеводородные соединения и соединения с гидроксильными связями.