Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/27805
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Лугин, Валерий Геннадьевич | ru |
dc.contributor.author | Зарапин, Виталий Георгиевич | ru |
dc.contributor.author | Жарский, Иван Михайлович | ru |
dc.date.accessioned | 2019-01-26T08:45:53Z | - |
dc.date.available | 2019-01-26T08:45:53Z | - |
dc.date.issued | 1999 | - |
dc.identifier.citation | Лугин, В. Г. Сенсорные и структурные свойства тонких пленок оксида олова, полученных магнетронным распылением / В. Г. Лугин, В. Г. Зарапин, И. М. Жарский // Материалы. Технологии. Инструменты. - 1999. - № 1. - С. 62-66. | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/27805 | - |
dc.description.abstract | Исследованы структура, фазовый состав, морфология поверхности и химический состав пленок на основе SnO[x], полученных методом магнетронного распыления олова с последующим термическим окислением Исследования сенсорных свойств нелегированных пленок SnO[x] выявили высокую чувствятельаость при детектировании малых концентраций NO[2] в газовых смесях при температуре чувствительного слоя 100-130 °С. Сенсорные пленки SnO[x], обладают селективностью в присутствии СО, СИ[4], Н[2]. Полученные результаты могут быть использованы при создании высокочувствительных и селективных сенсоров для детектирования газовых смесей, содержащих NO[2] и СО. | ru |
dc.format.mimetype | application/pdf | en |
dc.subject | тонкие пленки оксида олова | ru |
dc.subject | сенсорные свойства | ru |
dc.subject | структурные свойства | ru |
dc.subject | магнетронное распыление | ru |
dc.subject | сенсоры селективные | ru |
dc.subject | детектирование газовых смесей | ru |
dc.subject | сенсорные пленки | ru |
dc.title | Сенсорные и структурные свойства тонких пленок оксида олова, полученных магнетронным распылением | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.identifier.udc | 539.234 | - |
Appears in Collections: | Статьи в республиканских изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Lugin_Sensornye i strukturnye.pdf | 779.18 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.