Сенсорные и структурные свойства тонких пленок оксида олова, полученных магнетронным распылением

Abstract

Исследованы структура, фазовый состав, морфология поверхности и химический состав пленок на основе SnO[x], полученных методом магнетронного распыления олова с последующим термическим окислением Исследования сенсорных свойств нелегированных пленок SnO[x] выявили высокую чувствятельаость при детектировании малых концентраций NO[2] в газовых смесях при температуре чувствительного слоя 100-130 °С. Сенсорные пленки SnO[x], обладают селективностью в присутствии СО, СИ[4], Н[2]. Полученные результаты могут быть использованы при создании высокочувствительных и селективных сенсоров для детектирования газовых смесей, содержащих NO[2] и СО.