Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/27805
Title: | Сенсорные и структурные свойства тонких пленок оксида олова, полученных магнетронным распылением |
Authors: | Лугин, Валерий Геннадьевич Зарапин, Виталий Георгиевич Жарский, Иван Михайлович |
Keywords: | тонкие пленки оксида олова сенсорные свойства структурные свойства магнетронное распыление сенсоры селективные детектирование газовых смесей сенсорные пленки |
Issue Date: | 1999 |
Citation: | Лугин, В. Г. Сенсорные и структурные свойства тонких пленок оксида олова, полученных магнетронным распылением / В. Г. Лугин, В. Г. Зарапин, И. М. Жарский // Материалы. Технологии. Инструменты. - 1999. - № 1. - С. 62-66. |
Abstract: | Исследованы структура, фазовый состав, морфология поверхности и химический состав пленок на основе SnO[x], полученных методом магнетронного распыления олова с последующим термическим окислением Исследования сенсорных свойств нелегированных пленок SnO[x] выявили высокую чувствятельаость при детектировании малых концентраций NO[2] в газовых смесях при температуре чувствительного слоя 100-130 °С. Сенсорные пленки SnO[x], обладают селективностью в присутствии СО, СИ[4], Н[2]. Полученные результаты могут быть использованы при создании высокочувствительных и селективных сенсоров для детектирования газовых смесей, содержащих NO[2] и СО. |
URI: | https://elib.belstu.by/handle/123456789/27805 |
Appears in Collections: | Статьи в республиканских изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Lugin_Sensornye i strukturnye.pdf | 779.18 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.