Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.belstu.by/handle/123456789/28130
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Бобрович, Олег Георгиевич | - |
dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
dc.date.accessioned | 2019-02-20T08:42:00Z | - |
dc.date.available | 2019-02-20T08:42:00Z | - |
dc.date.issued | 2005 | - |
dc.identifier.citation | Бобрович, О. Г. Формирование покрытия на кремнии ионно-ассистированным нанесением Zr в условиях самооблучения / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков // Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 6-й Международной конференции, 28-30 сентября 2005 г. - Минск : Издательский центр БГУ, 2005. - С. 282-284. | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.belstu.by/handle/123456789/28130 | - |
dc.description.abstract | В работе исследован состав, распределение элементов в покрытии нанесенном на пластины (100) Si при комнатной температуре, а также дефектообразование в кристаллах кремния при ионно-ассистированном нанесении металлсодержащего (Zr) покрытия в условиях самооблучения. Элементный состав покрытия и распределение элементов по глубине изучали с применением резерфордовского обратного рассеяния (POP) ионов гелия, а повреждение структуры кремния - методом просвечивающей электронной микроскопии и методом POP в сочетании с каналированием ионов гелия. Уменьшение ускоряющего напряжения для ассистирующих ионов Zr+ от 10 кВ до 5 кВ приводит к увеличению толщины покрытия в - 1,5 раза при одинаковом времени модифицирования образцов кремния. | ru |
dc.subject | нанесение покрытий | ru |
dc.subject | покрытия металлсодержащие | ru |
dc.subject | формирование покрытий | ru |
dc.subject | осаждение покрытий | ru |
dc.subject | ионно-ассистированное нанесение | ru |
dc.subject | кремний | ru |
dc.subject | цирконий | ru |
dc.subject | самооблучение | ru |
dc.title | Формирование покрытия на кремнии ионно-ассистированным нанесением Zr в условиях самооблучения | ru |
dc.type | Article | ru |
Appears in Collections: | Публикации в республиканских изданиях |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Bobrovich_Formirovanie.pdf | 2.52 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.